Macchina di rivestimento a spruzzo fotoresistente a ultrasuoni da 120k con alimentazione esterna di liquido

Macchina per rivestimento a spruzzo di fotoresist ultrasonico da 120k con alimentazione liquida esterna

La nebulizzazione del fotoresist è un processo fondamentale nella produzione di semiconduttori per un rivestimento preciso del fotoresist. Il principio chiave consiste nel trasformare il fotoresist in minuscole goccioline attraverso la tecnologia di atomizzazione, che vengono poi depositate uniformemente sulla superficie del wafer, soddisfacendo i requisiti di rivestimento di wafer di grandi dimensioni e ad alta precisione.

Principio fondamentale: il fotoresist liquido viene atomizzato in goccioline uniformi su scala nanometrica o micrometrica utilizzando un flusso di gas ad alta pressione o vibrazioni ultrasoniche.

Le goccioline atomizzate vengono quindi trasportate da un flusso di gas direzionale, formando un rivestimento sottile e uniforme sulla superficie del wafer, con uno spessore controllato con precisione a livello nanometrico.

Vantaggi chiave: elevata uniformità del rivestimento, evitando i difetti di ispessimento al bordo e assottigliamento al centro tipici del rivestimento a centrifugazione, soddisfacendo i requisiti dei processi avanzati.

Elevato utilizzo del fotoresist, riducendo lo spreco di materiale di oltre il 50% rispetto al rivestimento a centrifugazione, abbassando i costi di produzione.

Adatto per wafer di grandi dimensioni (ad esempio, 12 pollici e oltre) e topografie superficiali complesse, con conseguente maggiore coerenza del rivestimento.

Qual è il parametro dell'ugello di spruzzo?

Avete le immagini dell'ugello di spruzzo?

La nano-atomizzazione ultrasonica utilizza l'energia ultrasonica per convertire i liquidi in particelle di dimensioni nanometriche. Ha ampie applicazioni in campo medico e industriale. Di seguito è riportata una descrizione dettagliata:

Principio
In campo medico: un generatore ultrasonico genera tipicamente una corrente ad alta frequenza, che viene convertita in onde ultrasoniche da un trasduttore ultrasonico. Questa corrente agisce quindi sul liquido attraverso una membrana ultrasonica sul fondo dell'atomizzatore, rompendo il farmaco in particelle fini. Infine, il flusso d'aria generato dal dispositivo di alimentazione dell'aria trasporta la nebbia medicamentosa al paziente per l'inalazione.
In campo industriale: un ugello ultrasonico converte onde sonore ad alta frequenza in energia meccanica, che viene trasferita al liquido, generando onde stazionarie. Il liquido viene quindi diretto attraverso l'ugello alla superficie di atomizzazione. Uscendo dalla superficie di atomizzazione, il liquido viene rotto in una nebbia uniforme di goccioline di dimensioni micrometriche, ottenendo così l'atomizzazione.

Caratteristiche
Particelle fini e uniformi: le particelle atomizzate generate hanno tipicamente un diametro compreso tra 1 e 5 micron, rimangono sospese nell'aria per periodi prolungati e sono distribuite in modo relativamente uniforme. In campo medico, ciò aiuta a garantire una migliore erogazione alle vie respiratorie inferiori e ai polmoni. In campo industriale, può ottenere rivestimenti sottili altamente uniformi su scala submicronica e nanometrica. Elevata efficienza e risparmio energetico: il liquido viene trasferito all'ugello di spruzzo per gravità o pompa a bassa pressione, ottenendo un'atomizzazione continua o intermittente. Questo processo è privo di intasamenti, privo di usura, silenzioso, privo di pressione e non ha parti in movimento. Non è necessaria acqua di raffreddamento per l'atomizzazione, con conseguente basso consumo energetico.

Materiale ed ecologico: lo spruzzo a bassa velocità e senza pressione è facilmente controllabile e le goccioline atterrano sul substrato anziché rimbalzare su di esso, riducendo significativamente l'overspray, risparmiando materiale e riducendo le emissioni ambientali.

Elevata controllabilità: flusso di atomizzazione precisamente controllabile, spruzzo continuo a basso flusso e schemi di spruzzo facili da controllare e modellare lo rendono adatto alle applicazioni industriali. Attraverso la combinazione, il volume di atomizzazione può essere adattato per soddisfare qualsiasi esigenza dell'utente. Applicazioni
Medico: ad esempio, i dispositivi di atomizzazione ultrasonica oftalmica utilizzano questa tecnologia per scomporre i farmaci in particelle atomizzate di dimensioni nanometriche per il trattamento dell'occhio secco e della blefarite. Questa tecnologia promuove l'assorbimento, allevia i sintomi dell'occhio secco e migliora la microcircolazione perioculare. In medicina respiratoria, la tecnologia di atomizzazione ultrasonica assistita da nanobolle può atomizzare direttamente farmaci e nanobolle in aerosol fini, aumentando la deposizione nei polmoni e utilizzata per trattare condizioni come le cisti polmonari.

Industriale: le applicazioni includono celle a combustibile, celle fotovoltaiche a film sottile, rivestimenti solari a film sottile, celle solari a perovskite, rivestimenti di grafene, rivestimenti di vetro e circuiti elettronici, consentendo rivestimenti sottili altamente uniformi su scala submicronica e nanometrica.

Paesaggistica: nei giardini paesaggistici e negli spazi commerciali, i moduli di atomizzazione ultrasonica possono creare un effetto di nebbia avvolgente, aumentando l'umidità dell'aria e migliorando il microclima interno. Possono anche essere combinati con effetti di illuminazione per creare uno spettacolo di nebbia spettacolare e cangiante.

Come si confrontano gli ugelli di spruzzo ultrasonici con gli ugelli di spruzzo tradizionali in termini di efficienza?
Gli ugelli di spruzzo ultrasonici superano gli ugelli di spruzzo tradizionali in efficienza complessiva, specialmente per scenari di rivestimento ad alta precisione come l'applicazione di fotoresist.

Principali vantaggi di efficienza degli ugelli di spruzzo ultrasonici

Maggiore utilizzo del materiale: atomizzano il fotoresist in micro/nanogoccioline di dimensioni uniformi, riducendo gli sprechi del 30-60% rispetto agli ugelli tradizionali (ad esempio, a pressione) che spesso producono goccioline irregolari o overspray.
Uniformità di rivestimento superiore: la vibrazione ultrasonica consente una distribuzione uniforme delle goccioline, minimizzando le variazioni di spessore (tipicamente entro ±5% rispetto a ±10-15% per gli ugelli tradizionali), il che riduce le rilavorazioni e migliora la resa del processo.
Minore consumo energetico: l'atomizzazione ultrasonica si basa su vibrazioni ad alta frequenza anziché su alta pressione o flusso d'aria, riducendo il consumo energetico del 20-40% mantenendo le prestazioni di spruzzo.

Limitazioni rispetto agli ugelli tradizionali

Minore applicabilità per materiali ad alta viscosità: gli ugelli a pressione tradizionali gestiscono fluidi più densi in modo più efficace, mentre i tipi ultrasonici funzionano meglio con fotoresist a bassa-media viscosità.
Costo iniziale più elevato: gli ugelli ultrasonici hanno un investimento iniziale più elevato, sebbene questo sia compensato dai risparmi a lungo termine su materiali ed energia nella produzione di massa.

Gli ugelli di spruzzo ultrasonici offrono diversi vantaggi rispetto agli ugelli di spruzzo tradizionali in termini di efficienza. Ecco alcuni punti chiave di confronto:

1. Efficienza di atomizzazione: gli ugelli di spruzzo ultrasonici sono altamente efficienti nell'atomizzare i liquidi in goccioline fini.

2. Riduzione dell'overspray: gli ugelli di spruzzo tradizionali generano spesso una quantità significativa di overspray, che si riferisce alla perdita di liquido che non raggiunge il bersaglio previsto.

3. Qualità del rivestimento: gli ugelli di spruzzo ultrasonici sono particolarmente vantaggiosi nelle applicazioni in cui è richiesto un rivestimento di alta qualità.

4. Risparmio di materiale: grazie alla loro efficiente atomizzazione e alla riduzione dell'overspray, gli ugelli di spruzzo ultrasonici possono contribuire a risparmiare sui costi dei materiali.

5. Versatilità: gli ugelli di spruzzo ultrasonici possono gestire un'ampia gamma di liquidi, tra cui soluzioni a base d'acqua, solventi, sospensioni e fluidi viscosi.

Vale la pena notare che gli ugelli di spruzzo tradizionali hanno i propri vantaggi in determinati scenari, come applicazioni ad alto flusso o situazioni in cui si desiderano goccioline più grandi. La scelta tra ugelli di spruzzo ultrasonici e ugelli di spruzzo tradizionali dipende dai requisiti specifici dell'applicazione e dal risultato desiderato in termini di efficienza, qualità del rivestimento e risparmio di materiale.

Puoi fornire esempi di settori o applicazioni in cui vengono comunemente utilizzati gli ugelli di spruzzo ultrasonici?

 

Sistema di spruzzatura ultrasonica
L'attrezzatura di spruzzatura ultrasonica è autopulente, il che può evitare l'inquinamento della parete interna del tubo di raccolta del sangue durante il processo di spruzzatura, ed evitare anche la contaminazione del proprio ugello, e può essere spruzzata e utilizzata in cicli. Il sistema di spruzzatura ultrasonica può programmare il numero, la distanza, lo spessore e altri parametri di spruzzatura, in modo da garantire l'accuratezza dell'effetto di spruzzatura. L'attrezzatura di spruzzatura ultrasonica può risparmiare materie prime e il tasso di utilizzo delle materie prime è fino all'85%. Gli atomizzatori industriali ultrasonici possono essere facilmente integrati nelle linee di produzione esistenti per uno spruzzo efficiente con una produzione di qualità costante.

Essendo una tecnologia provata a livello industriale, la spruzzatura ultrasonica è stata applicata con successo a linee di rivestimento a film sottile ad alte prestazioni nella produzione di elettronica di precisione come semiconduttori, dispositivi di precisione, applicazioni di nanotecnologia, celle a combustibile e celle solari. Durante la spruzzatura ultrasonica, la dimensione e la distribuzione delle goccioline possono essere controllate con precisione, ottenendo particelle con un'elevata area superficiale.

Puoi fornire il video di lavoro dell'ugello di spruzzo?